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P63系列壓電納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)為芯明天標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品之一，它的標(biāo)稱行程范圍為5.5μm/軸，一至三維運(yùn)動(dòng)自由度可選。

P63.XYZ-D1是基于P63系列進(jìn)行內(nèi)部結(jié)構(gòu)及外觀尺寸的微調(diào)整，將XY向的標(biāo)稱位移增大到了16μm，以滿足使用者對(duì)XY向更大運(yùn)動(dòng)范圍的要求，既在成本上得到了很好的控制，又滿足了用戶使用的需求。

微調(diào)后的P63.XYZ-D1依然保持小體積的特點(diǎn)，尺寸僅L40×W40×H42mm，易于集成。XY軸標(biāo)稱行程為16μm，Z軸標(biāo)稱行程為6μm。

P63.XYZ-D1閉環(huán)階躍時(shí)間圖（帶載）

P63.XYZ-D1壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，在帶載100g負(fù)載的情況下，滿行程階躍時(shí)間約9ms。

P63.XYZ-D1技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：P63.XYZS-D1

運(yùn)動(dòng)自由度：XYZ

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：XY 16μm，Z 6μm

行程范圍（0~150V）：XY 18μm，Z 8μm

傳感器類型：SGS

閉環(huán)分辨率：0.6nm

開(kāi)環(huán)分辨率：XY0.2/Z0.1nm

閉環(huán)線性度：XY0.3%F.S. , Z1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)度：0.5%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)：≤15μrad

空載諧振頻率：XY2/Z1kHz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：8/0.5ms

承載能力：0.5kg

靜電容量：X、Y 1.8μF/ Z 0.8μF

Z軸閉環(huán)電壓與位移曲線

注：實(shí)際施加到壓電平臺(tái)的電壓為輸入控制電壓的12倍。

XY軸開(kāi)環(huán)電壓與位移曲線

注：實(shí)際施加到壓電平臺(tái)的電壓為輸入控制電壓的12倍。

位移測(cè)量

利用電容測(cè)微儀測(cè)量各軸運(yùn)動(dòng)行程。