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在涉及到微米級小孔的超快激光加工應(yīng)用中集成壓電偏轉(zhuǎn)鏡，具有加工精度高、加工速度快等特點(diǎn)。已廣泛應(yīng)用于航天器件微小孔加工、異形孔加工等領(lǐng)域。

P33.T8S系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是具有快速響應(yīng)且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)平臺，提供頂端面的高精度角度運(yùn)動，與其他執(zhí)行器相比，柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺可提供更高的加速度，使階躍響應(yīng)時間在亞毫秒范圍。P33.T8S在10mrad滿行程工作頻率達(dá)50Hz，可連續(xù)工作15天。

特點(diǎn)

• 二維θx、θy 偏轉(zhuǎn)

• 偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)12.5mrad

• 亞毫秒響應(yīng)時間

• 閉環(huán)定位精度高

• 溫度穩(wěn)定性高

高動態(tài) 閉環(huán)精度高

在機(jī)械結(jié)構(gòu)的合適位置采用應(yīng)變傳感器來得到高穩(wěn)定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性。

技術(shù)參數(shù)

型號：P33.T8S

運(yùn)動自由度：θx、θy

行程范圍（0~120V）：10mrad（≈2060”）/±5mrad(≈±1030”)

行程范圍（0~150V）：12.5mrad（≈2500”）/±6.25mrad(≈±1250”)

閉環(huán)傳感器：SGS

閉環(huán)分辨率：0.5μrad(≈0.1”)

閉環(huán)線性度：0.25%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.02%F.S.

空載諧振頻率：3.1kHz

閉環(huán)空載階躍時間：8ms

靜電容量：14.5μF/軸

材質(zhì)：鋼

重量：340g