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小體積大負載壓電物鏡定位器

更新時間: 2021-03-29

P76.Z50S/KA小體積大負載Z軸壓電物鏡定位器,高度尺寸僅為37.5mm,負載能力可達500g,Z軸可實現(xiàn)50μm直線運動范圍,采用柔性鉸鏈設計機構,無摩擦,直線性好,閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡,是顯微成像、晶圓切割等應用的理想選擇。

特性

• 行程可達50μm

 承載能力500g

 毫秒級響應時間

 閉環(huán)重復定位精度高

 聚焦穩(wěn)定性好

 

大負載 高頻響 高分辨率

P76.Z50S/KA是為了實現(xiàn)大負載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應用中達到超快的階躍時間而專門設計。堅固的設計使其即使帶載幾百克的物鏡也可以實現(xiàn)非??斓姆€(wěn)定時間及掃描頻率。多個壓電驅動器的旋轉對稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計,使它具有較高的剛度,同時保證了優(yōu)異的導向精度和動態(tài)性負載能力達500g,兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場物鏡,也可匹配蔡司、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。

閉環(huán)階躍時間

P76.Z50S/KA壓電物鏡定位器帶載500g,滿行程階躍時間約20ms。

技術參數(shù)

型號P76.Z50S/KA

運動自由度Z

行程范圍(0~120V)40μm

行程范圍(0~150V)50μm

閉環(huán)傳感器類型SGS

/開環(huán)分辨率5/2.5nm

閉環(huán)線性度0.05%F.S.

閉環(huán)重復定位精度0.02%F.S.

/拉力35/10N

運動方向剛度0.8N/μm

空載諧振頻率800Hz

/開環(huán)空載階躍時間5/2ms

承載能力0.5kg

靜電容量3.2μF

材質鋼、鋁

重量510g

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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