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P60系列Z向大行程直線微運動平臺

更新時間: 2021-04-10

P60系列Z向大行程直線微運動平臺

P60.Z500是以壓電陶瓷為驅(qū)動源,并采用放大機構(gòu)的Z向運動的大行程直線微運動平臺,是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng),可達毫秒級響應、納米級定位精度,并可選配高精度傳感器進行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應用,如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等,已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

P60.Z500系列壓電掃描臺,采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,可實現(xiàn)500μm的運動行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載2kg的負載,空載諧振頻率達290Hz。

 

帶載階躍時間

P60.Z500S 帶載350g時,階躍時間200ms。

技術(shù)參數(shù)

型號P60.Z500

運動自由度Z

行程范圍(0~120V)400μm

行程范圍(0~150V)500μm

閉環(huán)傳感器SGS

/開環(huán)分辨率20/5nm

閉環(huán)線性度:0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度0.05%F.S.

空載諧振頻率290Hz

承載能力2kg

靜電容量28.8μF

材質(zhì)鋼、鋁

重量(不含線)0.65kg

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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