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XY 二維精密壓電顯微掃描臺(tái)

更新時(shí)間: 2021-06-19

P15.XY100S/K65-B1為二維XY向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),具有超薄的外形,可進(jìn)行每軸100μm范圍內(nèi)的納米級(jí)位置調(diào)整,P15.XY100S/K65-B1對(duì)于納米范圍的對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、測(cè)量等應(yīng)用是非常理想的??蛇x配橋式配置的閉環(huán)傳感器,消除溫度漂移,保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。同時(shí),通過FEA優(yōu)化了直線度與平面度,結(jié)構(gòu)更緊湊、響應(yīng)速度更快。

 

特點(diǎn)

• 二維XY向運(yùn)動(dòng)

• 行程達(dá)100μm/軸

• 承載力達(dá)500g

• 超薄尺寸

• 可安裝真空吸盤

 

典型應(yīng)用

• 表面檢測(cè)

• 顯微成像

• 激光技術(shù)

• 半導(dǎo)體加工與測(cè)試

 

大通孔 快速聚焦

P15.XY100S/K65-B1壓電顯微掃描臺(tái),大通孔設(shè)計(jì)主要是為了滿足各種樣品夾持結(jié)構(gòu),如真空吸盤。

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)具有的響應(yīng)速度,大大提高了成像捕獲能力。對(duì)于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用,可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器,提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號(hào)給壓電控制器。全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移,確保了納米級(jí)定位精度。

 

表面絕緣壓電陶瓷提供長(zhǎng)使用壽命

壓電掃描臺(tái)采用高一致性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷,陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力高且無漏電現(xiàn)象。

 

電壓位移曲線

 

線性度曲線

 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)P15.XY100S/K65-B1

運(yùn)動(dòng)自由度XY

行程范圍(0~120V)80μm/軸

行程范圍(0~150V)100μm/軸

閉環(huán)傳感器SGS

通孔尺寸:55×65mm

/開環(huán)分辨率10/5nm

閉環(huán)線性度0.15%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.05%F.S.

俯仰/滾動(dòng)/偏航≤10μrad

空載諧振頻率490Hz

/開環(huán)空載階躍時(shí)間50/20ms

承載能力500g

靜電容量14.5μF

臺(tái)體材料

電纜長(zhǎng)度1.5m

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