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P66A.X30為一維X向運動壓電平臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)采用放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)38μm范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高導(dǎo)向精度、高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護等特點。平臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達納米量級，定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。

特性

• 一維X向運動

• 行程達38μm

• 承載力達100g

• 可選閉環(huán)版本、真空版本

典型應(yīng)用

• 納米級精密位置調(diào)整

• 掃描顯微

• 微操作

• 納米定位/測量

• 微加工

高動態(tài) 高精度

P66A.X30為小體積高精度運動平臺，特別為高分辨率、高動態(tài)、高定位精度應(yīng)用而設(shè)計，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，實現(xiàn)納米級精度調(diào)整，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計使其具有非常大的剛度，空載諧振頻率達2000Hz，滿足工業(yè)上對高頻率、高精度等應(yīng)用的需求。

技術(shù)參數(shù)

型號：P66A.X30

運動自由度：X

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：30μm

行程范圍（0~150V）：38μm

閉環(huán)傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：10/5nm

閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：200/10 N

運動方向剛度：10N/μm

空載諧振頻率：2000Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：5/1.5ms

承載能力：100g

靜電容量：3.6μF

臺體材料：鋁

電纜長度：1.5m

推薦控制器

P66A.X30壓電納米定位臺為一維X向運動機構(gòu)，可配套芯明天單通道壓電控制器，實現(xiàn)精密運動控制。

E01.D1

LCD，薄膜按鍵, 可達625mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開發(fā)

E53.D

小體積，60mA

RS-232/RS-422/USB通信

軟件可二次開發(fā)