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壓電物鏡定位器吸收了壓電陶瓷的優(yōu)點

更新時間: 2021-11-24
  壓電物鏡定位器是采用PZT壓電陶瓷驅動,因此具有PZT壓電陶瓷的很多優(yōu)點,它的響應速度快,在毫秒量級,并且具有納米級的分辨率,可提供納米級高精度的物鏡定位驅動,從而達到納米精度的聚焦。同時,采用內置閉環(huán)反饋傳感器,又解決了PZT壓電陶瓷的遲滯與蠕變的問題。
 
  壓電物鏡定位器既吸收了壓電陶瓷的優(yōu)點,同時去除了壓電陶瓷的弊端,為高分辨率顯微成像、激光聚焦等應用提供了便捷而有力的工具。此外,P73.Z1000系列壓電物鏡定位器的安裝非常便捷,采用螺紋安裝,螺紋適配標準物鏡,也可選擇定制安裝螺紋。
 
  用過壓電產品的用戶,一般都了解壓電產品的位移,一般在幾微米到幾百微米不等。但為了實現(xiàn)更大范圍的Z向聚焦,芯明天設計了P73.Z1000系列壓電物鏡定位器,該物鏡定位器具有1mm(=1000μm)的運動范圍,不僅滿足了大范圍調焦應用,而且提供了納米級的定位精度。
 
  可見光的波長一般在390nm至780nm范圍,而光學顯微技術利用的是物鏡對光的聚焦,以達到盡可能高的亮度范圍,從而獲取盡可能清晰的圖像。高分辨率顯微成像的景深一般為微米級或亞微米級,這在定位到景深范圍內后,Z向調焦的過程將需要更高的定位精度,尤其對成像精度要求非常高的應用,例如多光子熒光顯微鏡、光學相干斷層成像術、晶圓檢測等,都要求納米級定位精度。
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