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中空式壓電宏微復(fù)合平臺(tái),XY宏動(dòng)Z向微動(dòng),適于籠式結(jié)構(gòu)!

更新時(shí)間: 2022-03-23

隨著壓電應(yīng)用技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展,研究人員已經(jīng)不再滿足于微小位移、高精度的場(chǎng)景需求,帶有高精度的更大的位移行程需求不斷提出。此類壓電產(chǎn)品也隨著壓電技術(shù)的發(fā)展進(jìn)步應(yīng)運(yùn)而生。芯明天XYZ72SN81K13系列壓電宏微復(fù)合運(yùn)動(dòng)平臺(tái),采用壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)相結(jié)合的方式,滿足XY軸mm級(jí)大行程,并且實(shí)現(xiàn)Z軸nm級(jí)的高精度。

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特點(diǎn)

XY宏動(dòng)毫米行程,適于鏡頭等位置橫向調(diào)整

Z向微動(dòng)微米行程,適于光學(xué)聚焦調(diào)整

Φ35mm中心通孔,適于透射光應(yīng)用

電壓驅(qū)動(dòng)控制,速度快,操作便捷

宏微復(fù)合

XYZ72SN81K13系列運(yùn)動(dòng)平臺(tái),采用宏微復(fù)合的方式,將壓電粘滑原理與壓電微動(dòng)技術(shù)結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)XY軸的大行程宏動(dòng),行程可達(dá)±5mm/軸;Z軸進(jìn)行微動(dòng)調(diào)節(jié),行程可達(dá)8μm。

XY毫米行程運(yùn)動(dòng),壓電螺釘驅(qū)動(dòng)

XY軸采用芯明天設(shè)計(jì)生產(chǎn)的壓電螺釘來驅(qū)動(dòng),它利用粘滑原理,具有行程大、精度高等特點(diǎn)。再結(jié)合中空式滑動(dòng)平臺(tái),將壓電螺釘?shù)闹本€運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換至滑動(dòng)平臺(tái)的XY軸運(yùn)動(dòng)。

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Z向微米行程運(yùn)動(dòng),壓電直驅(qū)結(jié)構(gòu)

Z軸采用PZT壓電直驅(qū)結(jié)構(gòu),提供微米級(jí)行程、納米級(jí)精度。驅(qū)動(dòng)電壓與運(yùn)動(dòng)行程成線性關(guān)系。

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配備籠式結(jié)構(gòu)安裝孔位

XYZ72SN81K13系列壓電宏微復(fù)合運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是專為籠式結(jié)構(gòu)中的應(yīng)用而設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)中配備了籠式結(jié)構(gòu)安裝通孔,可直接集成到籠式結(jié)構(gòu)中。它可用于帶載任何光學(xué)元件,例如在籠式結(jié)構(gòu)中帶載透鏡,XY向的運(yùn)動(dòng)調(diào)整可精確控制透鏡焦點(diǎn)在平面內(nèi)的中心位置,而Z向的微運(yùn)動(dòng)可對(duì)焦點(diǎn)在光軸上的位置進(jìn)行精確的納米級(jí)微調(diào)整。

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XYZ72SN81K13系列壓電宏微復(fù)合運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用φ35mm的通光孔徑結(jié)構(gòu),適合于光學(xué)應(yīng)用。

Z向微動(dòng)位移與電壓曲線

不同于XY向的驅(qū)動(dòng)原理,Z向驅(qū)動(dòng)時(shí),產(chǎn)生的位移與驅(qū)動(dòng)電壓成線性關(guān)系。

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技術(shù)參數(shù)

型號(hào):XYZ72SN81K13

運(yùn)動(dòng)自由度:XYZ

XY宏動(dòng)行程:±5mm/軸

Z向微調(diào)行程:8μm@150V

XY最小位移增量:<30nm

Z/開環(huán)分辨率:0.3/0.1nm

Z向微調(diào)傳感器:SGS

Z向空載諧振頻率:2.5kHz

承載能力:正立500g/側(cè)放200g


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