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壓電物鏡掃描器的精度有多高?

更新時間: 2023-04-26
  壓電物鏡掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體,具有四個外部電極和連續(xù)的內(nèi)部電極。當(dāng)電壓施加到外部電極之一時,相應(yīng)區(qū)域的致動器管壁膨脹,這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉(zhuǎn)。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。壓電管掃描器廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應(yīng)用??筛鶕?jù)要求提供定制尺寸、規(guī)格。
 
  壓電物鏡掃描器的命名實(shí)際由它的驅(qū)動原理及其應(yīng)用目的相結(jié)合而來的。“壓電”指的是它的驅(qū)動原理,即利用PZT壓電陶瓷來作為驅(qū)動源從而產(chǎn)生運(yùn)動;而“物鏡定位器”則是它的應(yīng)用目的,即用來帶載物鏡頭調(diào)節(jié)運(yùn)動。但通常情況下,壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的,它可以根據(jù)實(shí)際使用要求帶載不同類型的物鏡頭。
 
  壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),物鏡補(bǔ)償量較小,具有聚焦穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測、測量或者觀測裝置,帶動物鏡聚焦進(jìn)行Z向運(yùn)動調(diào)節(jié),能與多種高分辨率的顯微鏡配合使用,可將物鏡的聚焦精度提高至納米級。
 
  在驅(qū)動內(nèi)部電極配置中,X和Y電極以標(biāo)準(zhǔn)方式相等且相反極性的電壓驅(qū)動。通過向內(nèi)部電極施加滿量程負(fù)電壓,獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場強(qiáng)度,其通常是負(fù)電場強(qiáng)度的五倍。要注意不要對內(nèi)部電極施加正電壓,因?yàn)檫@會導(dǎo)致去極化。
 
  壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內(nèi)部電極是連續(xù)的,外部電極是四分區(qū)的。通過用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極??筛鶕?jù)要求提供定制電極配置。在需要高磁場的應(yīng)用中,鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟(jì)的選擇,但金電極有不錯的耐腐蝕性和導(dǎo)電性。
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