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新品推薦|ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺(tái),適用晶圓調(diào)平!

更新時(shí)間: 2023-07-26
本次給大家介紹一款電動(dòng)壓電螺釘調(diào)平臺(tái)——ZT50N81K8,它是專為三軸調(diào)平而設(shè)計(jì),具有三個(gè)直線促動(dòng)點(diǎn),通過二維θx、θy 偏轉(zhuǎn)和 Z 向升降運(yùn)動(dòng)可對(duì)載物臺(tái)進(jìn)行調(diào)節(jié),主要的特點(diǎn)就是定位精度高,承載能力強(qiáng),電動(dòng)操作更便捷,因其高精度、可控性強(qiáng)、實(shí)用性高,因而廣泛應(yīng)用于科研、激光應(yīng)用、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。


ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺(tái)臺(tái)面直徑160mm,直線行程可達(dá)3mm,θx、θy 偏轉(zhuǎn)角度為±1.5°,角分辨率可達(dá)0.3μrad,承載可達(dá)2kg,具有出色的長期穩(wěn)定性,且能在斷電情況下繼續(xù)保持在設(shè)定位置,斷電自鎖。實(shí)物外觀如下圖所示。

圖片


產(chǎn)品特點(diǎn)


• 三維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng) 
• 亞微弧度角分辨率 
• 斷電自鎖 
• 電動(dòng)操作更靈活


產(chǎn)品應(yīng)用

• 科學(xué)研究 
• 光學(xué) 
• 實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)結(jié)構(gòu)搭建 
• 三軸調(diào)平 
• 晶圓調(diào)平 
• 工業(yè)應(yīng)用


技術(shù)參數(shù)

型號(hào)
ZT50N81K8
臺(tái)面直徑
160mm
運(yùn)動(dòng)自由度
θx、θy、Z
電動(dòng)軸
3個(gè)
角度范圍
±1.5°
直線行程
3mm
直線運(yùn)動(dòng)方向
Z
角分辨率
0.3μrad
承載能力
2kg
促動(dòng)器
壓電螺釘促動(dòng)器
工作溫度
10~40℃
重量
1800g
壓電螺釘連接器
RJ11


半導(dǎo)體領(lǐng)域調(diào)平

ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺(tái)以其高精度、大行程及多維運(yùn)動(dòng),使其非常適用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的調(diào)平,例如晶圓調(diào)平等。


配套控制器

芯明天E53.C4K壓電控制器可用于驅(qū)動(dòng)ZT50N81K8壓電螺釘調(diào)平臺(tái),采用24VDC供電,4通道版本可使用切換方式驅(qū)動(dòng)4支壓電螺釘,采用數(shù)字信號(hào)控制,與壓電螺釘間可通過網(wǎng)口連接,且體積小、易集成。



圖片


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