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壓電偏轉鏡是以壓電元件作為驅(qū)動源與外部機構相結合帶動鏡片實現(xiàn)精密偏轉/傾斜運動的壓電機械系統(tǒng)。芯明天壓電偏轉鏡包括壓電陶瓷驅(qū)動精密偏轉鏡以及壓電馬達驅(qū)動大行程壓電偏轉鏡。

壓電陶瓷驅(qū)動壓電偏轉鏡

壓電陶瓷驅(qū)動壓電偏轉鏡內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

主要特性：

壓電陶瓷驅(qū)動壓電偏轉鏡根據(jù)運動方式包括一維θx二維θx,θy三維θx,θy,Z，運動工作方式如下圖所示：

該系列高精密壓電偏轉鏡具有多種尺寸、偏轉范圍、規(guī)格型號可選，P31系列壓電偏轉鏡能夠?qū)崿F(xiàn)的zui大偏轉范圍達25mrad，P33.T2S壓電偏轉鏡配套芯明天閉環(huán)壓電控制器可以實現(xiàn)0.5μrad的定位精度。

驅(qū)動控制方式：

芯明天壓電偏轉鏡可以根據(jù)用戶對負載要求、使用頻率，通信功能、開環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據(jù)用戶特定的需求開發(fā)定制。

典型應用：

精密壓電偏轉鏡主要應用于光通信、光路調(diào)整、光干涉、自適應光學等領域，芯明天P33系列壓電偏轉系統(tǒng)已經(jīng)成功應用于衛(wèi)星激光通信實驗中，高精度的偏轉、快速跟蹤、穩(wěn)定的控制使其受到國內(nèi)外科研院所及企業(yè)的青睞。

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉鏡

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉鏡，采用壓電馬達驅(qū)動，內(nèi)部精密軸承轉動導向與外部柔性鉸鏈導向機構相結合實現(xiàn)大行程高精度精密偏轉。

主要特性： 

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉鏡為一維θx軸壓電偏轉鏡，中心通孔透光孔徑為9mm、偏轉范圍可達6°（+/-3°）、實現(xiàn)光學12°的偏轉，可以選擇不同的控制器實現(xiàn)1/64步，即zui小步進0.3μrad， 速率可達25mrad/s。

驅(qū)動控制方式：

壓電馬達驅(qū)動偏轉鏡可以選擇三種不同分辨率的控制器實現(xiàn)不同的zui小步進，主要是通過軟件進行上位機控制，zui小步進與步進速度可以設置。

典型應用：

壓電馬達驅(qū)動壓電偏轉鏡已經(jīng)應用于光學導軌帶動分束立方體做精密偏轉運動。