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此次推文為大家?guī)硪豢钚久魈斓牧S壓電納米運(yùn)動(dòng)平臺-H61.XYZTR0S!

芯明天六軸壓電納米定位臺H61.XYZTR0S是一款六軸運(yùn)動(dòng)的壓電平臺，精度高、承載大，適用于靜態(tài)六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉(zhuǎn)，中心具有通孔，適于進(jìn)行納米級高精度定位調(diào)節(jié)的透射光應(yīng)用。

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的驅(qū)動(dòng)形式不同于六自由度結(jié)構(gòu)，它的外形更加常規(guī)化，運(yùn)動(dòng)區(qū)域局限于中心方形移動(dòng)臺面，非常易于平臺與負(fù)載的安裝固定。

大型通孔，適于透光應(yīng)用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的中心具有50mm×50mm的方形通孔，非常適合透射光的應(yīng)用，如樣品的觀測與顯微成像等。

承載能力強(qiáng)，適于大負(fù)載應(yīng)用

H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺的承載能力可達(dá)10.5kg！非常適合較大型樣品負(fù)載的六軸納米定位。

六軸納米定位，更高精度

        H61.XYZTR0S六軸壓電納米定位臺在X Y方向的位移為80μm（或±40μm），Z向位移達(dá)35μm，θx θy方向的偏轉(zhuǎn)行程為0.7mrad/軸（或±0.35mrad/軸），θz方向的偏轉(zhuǎn)行程為0.3mrad/軸（或±0.15mrad/軸）。

        在如此小的運(yùn)動(dòng)范圍下，六軸壓電平臺可進(jìn)行更加精確的納米級直線運(yùn)動(dòng)與納弧度級角度運(yùn)動(dòng)，為應(yīng)用環(huán)境提供超高精度的運(yùn)動(dòng)控制。

配套控制器 - E51.D7S壓電控制器

如下圖所示，E51.D7S壓電控制器是專用于驅(qū)動(dòng)六軸壓電定位平臺而設(shè)計(jì)研發(fā)的低功耗、低紋波控制器，結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。與H61.XYZTR0S壓電定位平臺構(gòu)成高精度六軸納米定位系統(tǒng)。在E51.D7S壓電控制器的控制下，H61.XYZTR0S壓電定位平臺X、Y、Z、θx、θy、θz六個(gè)維度的操作與控制將更加靈活，即使在10kg的超大負(fù)載下。

使得H61.XYZTR0S壓電定位平臺的應(yīng)用范圍擴(kuò)展到多個(gè)領(lǐng)域。

H61.XYZTR0S六軸定位系統(tǒng)

（圖左：E51.D7S壓電控制器，圖右：H61.XYZTR0S）

典型應(yīng)用

• 六軸超精密位置調(diào)整

• 棱鏡位置調(diào)整

• 光學(xué)應(yīng)用

• 透射光應(yīng)用

實(shí)測數(shù)據(jù)曲線

1）角度與電壓曲線

2）直線位移與電壓曲線

3）階躍時(shí)間曲線

技術(shù)參數(shù)

型號：H61.XYZTR0S

運(yùn)動(dòng)方向：X、Y、Z、θx、θy、θz

驅(qū)動(dòng)控制：7路驅(qū)動(dòng)

XYZ標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：         

XY：±32μm/軸        

Z：28μm

XYZ行程范圍（0~150V）：        

XY：±40μm/軸        

Z：35μm

θxθy 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)行程（0~120V）：

±0.28mrad/軸

θz 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)行程（0~120V）：

±0.12mrad/軸

θxθy 偏轉(zhuǎn)行程（0~150V）：

±0.35mrad/軸

θz 偏轉(zhuǎn)行程（0~150V）：

±0.15mrad/軸

空載諧振頻率：350Hz

負(fù)載10.5kg諧振頻率：50Hz

傳感器：SGS

承載能力：10.5kg

中心通孔：50mm×50mm

外形尺寸：L200×W200×H64 mm^3

使用方式：正向使用、靜態(tài)

靜電容量：       

 XYZ  29μF/軸        

θxθyθz  15μF/軸

重量：<4kg

材質(zhì)：鋼、鋁