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新品推薦!芯明天閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

更新時(shí)間: 2023-02-09

此次為大家?guī)硪豢铋]環(huán)式、三維運(yùn)動(dòng)、壓電螺釘驅(qū)動(dòng)的壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。使用過壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的用戶都會(huì)了解,一般情況下,這種運(yùn)動(dòng)平臺(tái)都是開環(huán)的,沒有閉環(huán)伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運(yùn)動(dòng)控制下對高精度的要求,芯明天專門設(shè)計(jì)、研發(fā)了XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái),該平臺(tái)配備了增量式編碼器,對運(yùn)動(dòng)行程、精度等可進(jìn)行精確控制,且精度可達(dá)1.5μm。


圖片
芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

特  點(diǎn)


XYZ三維運(yùn)動(dòng)
配有閉環(huán)增量式編碼器
行程±12.5mm/軸
納米級分辨率
精度達(dá)1.5μm

運(yùn)動(dòng)原理


XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是采用壓電螺釘驅(qū)動(dòng),壓電螺釘?shù)倪\(yùn)動(dòng)是通過內(nèi)部壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)螺紋桿旋轉(zhuǎn),從而沿著螺紋向前運(yùn)動(dòng)。螺紋桿的推動(dòng),使得載物移動(dòng)平臺(tái)臺(tái)面的直線運(yùn)動(dòng)。

圖片

技術(shù)參數(shù)


產(chǎn)品設(shè)計(jì)的參數(shù)如下表所示。


型號
XYZ65N81E26
運(yùn)動(dòng)自由度
X
集成傳感器類型
增量式編碼器
標(biāo)稱行程范圍
±12.5mm
速度
50μm/s
閉/開環(huán)分辨率
80nm
線性度
1.5μm
重復(fù)度
1.5μm
承載能力
1.5kg
工作溫度
0~50℃
質(zhì)量(包含電纜)
2.61kg
材質(zhì)
鋁、鋼
電纜長度
1.5m
推薦控制器
E53.D1E



產(chǎn)品實(shí)測數(shù)據(jù)


下方測試結(jié)果是在1.5kg負(fù)載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。


運(yùn)動(dòng)軸
X
Y
Z
線性度
1.253μm
1.327μm
1.157μm
重復(fù)度
1.439μm
0.275μm
1.134μm
分辨率
80nm
80nm
80nm
運(yùn)行速度
55.30μm/s
64.62μm/s
54.50μm/s



從測試結(jié)果中可看出,X、Y、Z三個(gè)方向的定位精度均可達(dá)到1.5μm以內(nèi)。運(yùn)動(dòng)效果如下視頻所示。



注:視頻60倍率播放。



可定制參數(shù)、可定制真空版本


芯明天可根據(jù)用戶的參數(shù)要求定制壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái),自由選擇一至三維運(yùn)動(dòng)版本,自由選配增量式編碼器。此外,可定制真空兼容版本,真空度可達(dá)10^-6mbar以上。
圖片

應(yīng)  用


XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是三維直線運(yùn)動(dòng)版本,因其大行程及高精度的特點(diǎn),非常適用于半導(dǎo)體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計(jì)量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。

配套控制器


XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用芯明天自研生產(chǎn)的E53.D1E壓電伺服控制器,可通過串口與上位機(jī)進(jìn)行連接通信,通過上位機(jī)軟件,對壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的控制,可設(shè)置運(yùn)動(dòng)速度等參數(shù)。
圖片

其他壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)


圖片

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